一种(105～10-8)Pa真空计校准装置的设计

针对(105～10-8)Pa复合型真空计的一次性校准需求,设计出相应的校准装置.装置主要由校准室、真空测量模块、抽气与供气模块、标准气体流量计、烘烤模块等部分组成.设计的校准室为球形容器,通过串联分子泵组和离子泵抽气,在校准室中获得10-9 Pa量级的极限真空度.真空计的校准通过静态比较法、动态比较法及标准流量法实现,静态比较法采用电容薄膜真空计作为参考标准实现(105～10-1)Pa的校准范围;动态比较法用磁悬浮转子真空计作为参考标准实现(10-1～10-4)Pa的校准范围;标准气体流量法采用(10-5～10-9)Pa·m3/s的标准气体流量计提供标准气体流量,实现(10-4～10-8)Pa的校准范围.本文设计的校准装置范围为(105～10-8)Pa,合成标准不确定度估计为0.9％～2.3％,解决了对宽量程真空计的一次性校准技术问题.