硅纳米锥阵列结构参数对抗反射性能研究
Machine Building & Automation（2021）
摘要
为得到太阳能硅基板上不同尺寸纳米锥阵列结构对抗反射性能的影响规律,采用时域有限差分法进行仿真分析.在已完成的3个模型基础上,以0.3μm～1.2μm光源波段内的平均反射率作为目标函数,对硅纳米锥阵列结构的高度、周期以及上、下端面直径进行研究分析,得到了硅纳米锥阵列结构参数变化对平均反射率的影响规律.根据影响规律进行参数选择,分别建立了3个优化模型.通过优化后的模型与初始模型的对比可以发现,优化后的模型抗反射性能有较大提升.
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