化学机械抛光技术研究现状及发展趋势
Materials Research and Application（2021）
Abstract
综述了化学机械抛光技术的发展现状.介绍了化学机械抛光系统的组成及工作原理,着重阐述介绍了系统各部分的构成及作用,并对化学机械抛光未来的发展趋势作了展望.
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