过渡层对片式开关型汽车氧传感器性能的影响
Transducer and Microsystem Technologies（2021）
摘要
设计并制备了一种过渡层浆料用于解决氧化锆氧传感器工艺过程中异质材料共烧结匹配问题,过渡层浆料作为的"粘合剂"使不同材料共烧结成一体提升了传感器层间结合强度,避免了由于材料收缩应力不一致引起的加热器层间开裂、空气腔室密闭不严等缺陷.氧传感器采用陶瓷高温共烧结(HTCC)工艺技术,经过流延、冲孔、印刷、叠片、切片、排胶、烧结工序制作而成,传感器具有响应时间短,使用寿命长的特点.设计制作的基于过渡层材料的氧化锆氧传感器经过测试,其响应时间由30 ms缩短至11 ms,上限输出值由280 mV提升至800 mV.
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