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半球谐振子镀膜残余应力对品质因数影响特性分析

楚建宁,朱蓓蓓,兰洁,刘青,陈肖,秦琳,许剑锋

Flight Control & Detection（2021）

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Abstract
针对半球谐振子表面金属薄膜残余应力分布情况,对半球谐振子Q值的影响特性进行了仿真.根据仿真结果,采用多自由度磁控溅射及基底均匀加热的方法进行了薄膜沉积工艺试验.控制多自由度旋转机构自转、公转、摆动参数分别为7r/min、12r/min和15(°)/s,将基体均匀加热至120℃,在时长为26 min的溅射之后得到了厚度为100nm左右的膜层.在真空状态下对半球谐振子镀膜后的品质因数进行了检测,结果表明可有效控制镀膜后的Q值衰减不超过30％.
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