直流合成场强、离子流密度测量仪校准技术

为解决现有直流合成场强测量仪校准装置存在的操控性不好、精确度不高以及不能满足标准要求开展直流合成场强测量仪的校准工作等问题,开展了直流合成场强、离子流密度测量仪校准系统的优化研究.对优化后的校准系统的技术优势特点进行了分析,并开展了试验分析及验证.研究表明,优化后的合成场强、离子流密度测量仪校准系统不仅具有能够按标准要求采用离子场校准方法对合成场强测量仪进行校准,同时具有校准离子流密度测量仪的综合功能,提高了校准的便捷性.而且采用圆形平板设计使得校准系统的电场分布更加均匀并具各向同性,有效提高了校准精确度.