双介质体系双层膜位置对光学TES吸收率的影响
Digital Technology and Application（2021）
Abstract
应用在光学波段的超导转变边沿传感器(TES)是一种极灵敏的单光子探测器,具备极优的能谱分辨能力,较高的量子效率几乎没有本征的暗计数率.双介质体系增透膜是进一步提高光学TES光子吸收效率常用的有效手段.实验中常选取具有良好低温特性的超导Ti-TES膜作为功能层生长于双面抛光型Si3N4的硅片上,通过TFCalc软件,分别仿真生长于正反两方向的Ti-TES对1550nm附近光子的光学吸收效率值确定较优的光学吸收方向.进一步地,在基底与Ti-TES之间不同位置处增加两种不同的双介质体系增透膜,通过仿真确定其不同位置对于光学波段TES吸收率的影响.
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