热压法制备二硫化钼陶瓷靶材工艺研究

采用热压工艺,制备了相对密度较高的二硫化钼陶瓷靶材产品.以靶材的相对密度为考察指标,研究了热压温度、压强、时间、烧结气氛、原料形态对二硫化钼陶瓷靶材相对密度的影响.通过阿基米德法、XRD、SEM及能谱等检测手段对热压陶瓷靶材的相对密度、成分、微观形貌进行表征分析.其中,热压温度、压强和时间是影响靶材相对密度的三个主要因素.以二硫化钼粉为原料,在真空环境下,当热压温度为1100 ℃,压强为36MPa,热压时间为1.5 h时,二硫化钼靶材相对密度可达98.5％,达到靶材溅射要求.为进一步提升靶材致密度,以二硫化钼粉和坯料为原料,在常压密闭的Ar气气氛下,当热压温度提升至1150℃时,靶材相对密度可分别升至99.1％和99.8％.最后,对不同相对密度靶材断口的形貌进行对比分析.