飞秒激光辅助刻蚀制备蓝宝石光栅(特邀)

Zheng Jiaxin,Gao Bingrong,Xue Yafei,Luo Ziyi,Han Shanguo,Liu Xueqing,Chen Qidai

ACTA PHOTONICA SINICA（2021）

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摘要

利用飞秒激光辅助刻蚀技术,在蓝宝石表面实现了周期、占空比及高度可调的光栅结构.解决了飞秒激光加工硬脆材料时表面质量较差、碎屑堆积导致的加工精度降低和难以制备深结构的问题.蓝宝石光栅结构的粗糙度从78 nm(激光直写后)降低到了7 nm(干法刻蚀后),实现了周期为800 nm光栅,以及深宽比为4的蓝宝石微结构的制备.飞秒激光辅助刻蚀技术能够制备蓝宝石表面高平滑光栅,并对光栅各级次衍射效率进行提升.

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关键词

Femtosecond laser, Sapphire, Wet etching, Dry etching, Grating

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