基于环形透镜的菲索干涉仪环形光源设计
LASER & OPTOELECTRONICS PROGRESS（2021）
摘要
针对使用点光源的激光干涉仪在测量中容易出现相干噪声的问题,阐述了环形光源抑制相干噪声的原理,分析了环形光源半径及厚度与条纹可见度之间的关系,提出一种基于环形透镜产生环形光源的光学系统.该系统包括扩束系统、环形透镜和双远心镜头,根据菲索干涉仪中的准直镜头和干涉腔长得到环形光源的目标参数.使用Zemax分别设计了环形光源系统中的三个子系统,并保证各部分光学系统之间良好衔接.其中:环形透镜由一个非球面透镜旋转而成;双远心镜头可以使环形光源直径缩小到合理范围,并确保最后环形光源上每个离轴点的出射光束都与光轴平行.最终设计出环半径为0.38 mm、厚度为12.5 μm的环形光源,在准直透镜焦距为900 mm、干涉腔长为100 mm的情况下,干涉条纹可见度的理论值大于0.98.
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关键词
measurement, interferometry, ring source, coherent noise, annular lens, double telecentric lens
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