基于集成光束分配芯片的空间叠层衍射成像

空间叠层衍射成像是一种基于相干光的无透镜成像方式,因此可以避免透镜系统孔径有限带来的衍射极限问题.目前,空间叠层衍射成像方案多采用机械结构对光探针进行平移,这种方式会使光探针的位置产生偏移误差,导致成像质量的下降.为解决这一问题,利用硅基光子集成技术设计并制作了基于滤波器件的光束空间分配芯片,该芯片上共有16个发射天线,相当于16个光探针,光探针阵列以一定的交叠率照射物体,其衍射图样强度被红外相机的不同感光区域记录.该芯片可以替代传统的机械式光探针来实现空间叠层衍射成像.百纳米级的加工工艺降低了光探针位置的偏移误差,提高了成像的质量和系统的稳定性.同时,由于集成芯片的尺寸仅有毫米级别,故成像系统的尺寸也可相应地减小.