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Study of orthorhombic phase of low-temperature fabricated Hf x Zr 1−x O 2 thin films using synchrotron X-ray

Takashi Onaya,Toshihide Nabatame,Yong Chan Jung,Heber Hernandez-Arriaga,Jaidah Mohan,Harrison S. Kim,Naomi Sawamoto,Chang-Yong Nam,Esther H. R. Tsai,Takahiro Nagata,Jiyoung Kim,Atsushi Ogura

The Japan Society of Applied Physics（2021）

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关键词
orthorhombic phase,thin films,low-temperature,x-ray
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