多晶硅铸锭炉生产工艺控制技术和设备组成

Mechanical Management and Development（2018）

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Abstract

多晶硅铸锭炉是多晶硅制造的关键设备之一,其工艺流程的稳定性、设备控制的稳定性和先进性直接关系到是否能够生产出合格的硅锭,而合格的硅锭直接决定着硅片制成的电池的光电转换效率.因此,详细地介绍了多晶硅铸锭炉的生产工艺,并主要对抽真空系统,压力控制系统、加热系统、测温系统、保温层升降系统等设备组成展开分析,探讨了控制系统的硬件控制结构、软件流程以及在设计时体现出的独到的设计理念和创新性.

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