集成电路晶圆制造企业能效指数构建及分析

Shanghai Energy Conservation（2019）

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摘要

本文基于集成电路晶圆制造企业生产特点,选取了产品单耗、产值单耗、产能利用率、综合节能率和能源消费成本5个指标,构建了集成电路晶圆制造企业能效指数模型.通过企业历史能耗数据,对3个企业的能效指数进行了计算评价.该模型客观科学地反映集成电路晶圆制造企业的真实能效水平.

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