厚铝膜硬度测试与分析庞壮,韦赟杰,于硕Chinese and Foreign Communication（2019）引用 0|浏览10暂无评分摘要中阶梯光栅在制备过程中所采用的刻划毛坯为真空热蒸镀工艺制备的厚铝膜.厚铝膜的硬度是评价其自身力学性能的重要数据,因此,本文采用纳米压痕硬度仪对厚铝膜进行了硬度测试,根据得出的测试数据,计算得出分层厚铝膜的硬度值,分析了硬度值变化的特点.更多AI 理解论文溯源树样例生成溯源树，研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要
