脉冲偏压占空比对磁控溅射制备ITO薄膜光电性能的影响

作为应用最为广泛的ITO透明导电薄膜一直是材料和电子领域研究的热点之一.实验利用磁控溅射方法制备了不同脉冲偏压占空比的ITO薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、紫外-可见光分光光度计和霍尔效应测量仪分别对薄膜的微观结构、表面形貌和光电特性进行了测试分析.结果表明:占空比变化对ITO薄膜性能有着显著的影响.薄膜存在(211)(222)和(440)三个衍射峰,择优取向随着占空比的改变而改变,而且不同的占空比导致薄膜的晶粒尺寸发生了明显的变化.另外,随着占空比增加,薄膜的透过率和电阻率呈现非线性变化的趋势,薄膜在560纳米波段有97％的高透过率.当占空比为20％时,薄膜具有最低电阻率(2.70×10-4?Ω?cm)和最高可见光平均透过率(89.58％),此时薄膜的光电性能相对最佳.