"微电子器件"实验教学改革与探索

微电子器件作为电子科学与技术专业的核心课程,是学生学习理解后续专业课程的基础.为了符合学院应用型人才培养模式的需求,笔者对传统实验教学进行了改革,引入TCAD仿真软件进行实验教学,学生能形象直观的了解器件的制作流程及器件制备过程中相关参数对器件电学,光学性能的影响;带学生参观电子薄膜与集成器件国家重点实验中山分室,了解有机器件的制备测试流程.微视频,翻转课堂教学模式的引入,不仅提高了学生主动学习课程的积极性,也促进学生更好的理解课程的理论教学内容.