化学气相沉积金刚石膜的光学性质
JOURNAL OF LANZHOU UNIVERSITY(NATURAL SCIENCES)（2003）
Abstract
多晶金刚石膜的光学性质与工艺参数密切相关.采用一较为完备的金刚石透过率模型,研究了一系列金刚石膜在中远红外区的光学性质.并得出了不同衬底预处理方法和反应室中甲烷分压对CVD膜的平均透过率、表面粗糙度、非金刚石相含量、各种成分的吸收系数等光学性质的影响,计算结果与实测结果一致.
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