无磨料低温抛光中的振动分析及消除
JOURNAL OF TSINGHUA UNIVERSITY(SCIENCE AND TECHNOLOGY)（2005）
摘要
针对无磨料低温抛光中冰盘会出现倾斜、引起加工过程的振动问题,对冰盘与工件盘的水平面内的相对运动进行了分析.对冰盘倾斜时,工件盘的纵向运动进行了建模,得到了冰盘与工件盘的偏心及冰盘的倾角越大,振动的幅值越大的影响规律,提出了抛光前对冰盘进行修整来消除振动的解决方案.通过对石英晶体的抛光实验,证实了这种方法的可行性,最终达到了粗糙度为0.53 nm的超光滑表面.
更多查看译文
关键词
cryogenic polishing,abrasives,vibration
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要