新型微小质量测量仪的研制

仪器采用力学与光学进行转换的设计思想，质量的变化使得劈尖上片的搭脚位置发生改变，利用搭脚的连动，改变劈尖装置的夹角，使得劈尖装置等厚干涉条纹间距发生变化，通过测量相邻条纹间距的改变量求出劈尖装置夹角改变的角度，最后通过CCD检测系统和PC机软件系统可实现自动化测量微小质量。