新型微小质量测量仪的研制
Journal of Chifeng University(2014)
Abstract
仪器采用力学与光学进行转换的设计思想,质量的变化使得劈尖上片的搭脚位置发生改变,利用搭脚的连动,改变劈尖装置的夹角,使得劈尖装置等厚干涉条纹间距发生变化,通过测量相邻条纹间距的改变量求出劈尖装置夹角改变的角度,最后通过CCD检测系统和PC机软件系统可实现自动化测量微小质量。
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