高重频皮秒脉冲激光对多晶硅的损伤特性研究

Xingchen LI,Lijun XU,Pengbo ZHANG,Qiang WU,Pengchen CAI, Lei TANG

Journal of Changchun University of Science and Technology（2017）

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摘要

为研究高重频皮秒脉冲激光对多晶硅的损伤特性,用不同重复频率的皮秒脉冲激光辐照多晶硅,用扫描电子显微镜对激光辐照后多晶硅的损伤形貌进行检测.探究了高重频皮秒脉冲激光与多晶硅相互作用的机理,得到了不同辐照时间和重频的皮秒激光对多晶硅的损伤规律.研究表明:多晶硅的损伤阈值随着皮秒激光重频的增加逐渐降低,当激光重频大于5kHz时,多晶硅的损伤阈值达到一个"饱和"值,损伤阈值几乎不再随着重频的增加而发生变化.研究结果对低脉冲能量高重复频率激光加工具有借鉴意义.

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关键词

polysilicon,high frequency,picosecond pulse,damage characteristics

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