脉冲激光烧蚀制备纳米硅晶粒过程中稳定晶核大小研究
Journal of Hebei University(Natural Science Edition)（2017）
摘要
采用蒙特卡罗方法,模拟了脉冲激光烧蚀制备纳米硅晶粒的动力学过程.在模拟中采用了成核长大模型,对室温下的硅晶粒成核过程中稳定晶核所含硅原子数目进行了研究.经过大量的计算以及与实验数据的比较,发现当稳定晶核所含硅原子数目为6时,计算得出的纳米硅晶粒平均尺寸分布规律与实验数据符合较好.
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关键词
Monte Carlo simulation,nucleation and growth process,stable nucleus
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