金属有机沉积涂层导体 La2 Zr2 O7缓冲层长带制备

采用辊到辊方式利用金属有机沉积(MOD)技术在双轴织构的 NiW 合金基带上制备了烧绿石结构的 La2 Zr2 O7(LZO)缓冲层长带样品，利用 X 射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)对长带样品不同部位截取短样的织构和表面形貌进行了分析。结果表明，已经制得了具有良好 c 轴织构且表面光滑的 LZO 膜。然而长带样品的织构锐利度小于静态短样的织构度，可以认为，热处理过程中影响升温速率以及恒温热处理时间的走带速度是获得高质量长带缓冲层样品的关键因素。