激光刻蚀聚酰亚胺基底铝薄膜的温度场模拟

Xiaoli Liu,Yuqing Xiong,Jianping Yang,Rui Wang,Gan Wu,Ni Ren

Chinese Journal of Lasers（2015）

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摘要

为了研究1064 nm激光刻蚀聚酰亚胺基底镀铝薄膜的作用机理,采用有限元分析软件ANSYS模拟了激光对聚酰亚胺基底上铝薄膜的刻蚀过程,分析了激光脉冲作用于铝薄膜表面时的能量传输及转化过程,获得了铝薄膜及聚酰亚胺基底中的温度场分布,进一步验证了在脉冲激光作用下由于基底材料易分解而产生的薄膜/基底界面分离机制.

关键词

thin films,laser etching,aluminum thin films,polyimide,temperature field,separation mechanism

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