新型声表面波电流传感器

将声表面波技术的快速响应特点与磁致伸缩薄膜的高磁敏特点相结合,可实现一种快速、高灵敏、稳定可靠的新型电流检测技术.传感器由双通道差分式振荡器与沉积在传感通道器件表面的声传播路径上的磁致伸缩薄膜组成.该文基于分层介质中声传播理论及磁致伸缩效应,对声表面波电流传感机理进行了分析,以实现对传感器结构的优化设计.实验研制了采用铁钴(F℃o)薄膜的声表面波电流传感器,测试结果表明,该传感器具有快速响应和高灵敏特点.为抑制磁致伸缩薄膜自身的剩磁效应所带来的高磁滞误差,采用的有效途径是将沉积的磁致伸缩薄膜进行图形化设计.实验结果表明,采用栅阵化F℃o薄膜结构的传感器表现出更高检测灵敏度、更好线性及更低的磁滞误差.