化学气相沉积法制备ZnSe多晶材料的缺陷研究

Naiguang WEI,Lipeng JIANG,Dongxu LI,Hai YANG,Qin YUAN,Li GUO,Zhirui TIAN,Zilin SONG,Xiaohua LIU,Jianming LI,Pengfei ZHANG

Journal of Synthetic Crystals（2020）

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摘要

本文介绍了ZnSe晶体的制备方法及其重要应用背景,系统地总结了化学气相沉积法(CVD)制备ZnSe过程中产生的各类缺陷,包括云雾、孔洞和微裂纹、夹杂、分层和胞状物.采用SEM、体视显微镜、金相显微镜、傅里叶光谱仪等方法对缺陷进行了表征.结合国内外文献和检测结果,对各类缺陷可能的产生机理及抑制方法进行了阐述与分析.

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