等电位辉光放电电子温度的光谱测量与计算
NUCLEAR FUSION AND PLASMA PHYSICS（2005）
Abstract
用SⅡ-Ⅳ型全息凹面光栅单色仪对各种工艺参数条件下双层辉光等电位放电的发射光谱的相对强度进行了测量,获得一系列光谱谱线.通过对玻尔兹曼方程式的计算,得到了不同工艺条件下等离子放电时的电子温度.分析了工件电压、工作气压对电子温度的影响.结果表明:在本工艺条件下,电子温度随着工件电压的升高,先减小后增大,然后又减小,并随着工作气压的增大而单调增大.工作气压的变化较工件电压的变化对电子温度的影响大.
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Key words
glow discharge,electron temperature,spectrum measurement
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