用扫描电镜测量纳米级标准长度的倾斜误差计算
JOURNAL OF INSTRUMENTAL ANALYSIS（2006）
Abstract
用扫描电镜测量纳米级长度的时候[1, 2],被测长度的倾斜会导致被测长度产生误差,通常称其为倾斜误差.本文对于倾斜误差进行了实验和分析.给出了倾斜误差与倾斜角度的关系公式和对应数据表,同时提出了减小或消除倾斜误差的方法,为提高测量准确度,建立标准测量方法[3],创造了条件.
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