亚微米工艺流程研究

SYSTEMS ENGINEERING AND ELECTRONICS（1999）

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摘要

介绍了在中国华晶中央研究所1.0微米工艺线上所开发的亚微米(0.8μm)工艺流程,重点介绍了0.8μm器件结构、工艺流程图、关键工艺设计以及用此流程制造出的0.8μm器件的各项PCM参数.

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