一种基于激光散射理论的超净光学表面检测系统

文章针对超净光学表面污损较小、检测评价困难的问题，基于微尘对激光的散射理论，通过对低噪声光电前放设计、锁相放大电路设计等研制了超净光学表面微尘检测系统，实现了光学表面的高精度、高效率、低成本、无损检测，为光学表面损伤提供了检测和标定手段。实验表明，系统具有很好的稳定性、灵敏度和信噪比，能实现对直径5微米颗粒的精确测量。