几种功率MOSFET元胞结构的比较
Science and Technology Innovation Herald(2014)
摘要
对几种常见功率MOSFET的元胞结构、工艺流程和电学参数特点进行了介绍和分析,指出了各类元胞结构的优缺点和工艺实现上的难点,给出了对不同的电压范围应采用的元胞结构的意见。
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