几种功率MOSFET元胞结构的比较

对几种常见功率MOSFET的元胞结构、工艺流程和电学参数特点进行了介绍和分析，指出了各类元胞结构的优缺点和工艺实现上的难点，给出了对不同的电压范围应采用的元胞结构的意见。