ICP刻蚀技术及其在MEMS中的应用

ICP技术是微纳加工中的常用技术之一，由于在加工过程中的可控性较高，因此在MEMS的加工中有着越来越重要的地位。本文主要对硅基MEMS器件的刻蚀原理进行分析，并简要介绍在加工过程中如何对过程进行控制已达到想要的结果。