ICP刻蚀技术及其在MEMS中的应用贾英茜,李莉,容旭巍Technology Wind(2014)引用 0|浏览10暂无评分摘要ICP技术是微纳加工中的常用技术之一,由于在加工过程中的可控性较高,因此在MEMS的加工中有着越来越重要的地位。本文主要对硅基MEMS器件的刻蚀原理进行分析,并简要介绍在加工过程中如何对过程进行控制已达到想要的结果。更多AI 理解论文溯源树样例生成溯源树,研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要