支撑刚度对激光干涉测量噪声的影响研究
Jiangsu Science & Technology Information（2017）
摘要
激光干涉测量技术使用范围广,测量快速高效,在精密位移测量中具有非常大的使用空间.测量噪声是干扰激光测量准确性的重要因素,文章以干涉仪移相器为例,分析了支撑刚度对激光测量噪声的影响关系.结果表明在更换刚性较好的支撑零件下可以改善噪声影响,使测量系统噪声从之前的±6.5 nm降为±3.5 nm,对于提高位移测量准确性具有较大的意义.
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