X射线镀层厚度分析仪辐射安全评估

目的 以BOWMAN BA-100型X射线镀层厚度分析仪为例,研究X射线镀层厚度分析仪外表面的周围剂量当量率.方法 采用实测和理论计算分析了X射线镀层厚度分析仪外表面的周围剂量当量率,并采用EGS蒙特卡罗模拟程序给出了X射线镀层厚度分析仪所产生的X射线垂直入射到铝、铁、铜、铅等材料上的散射系数.结果 给出了X射线镀层厚度分析仪外表面的周围剂量当量率,以及铝、铁、铜、铅对X射线镀层厚度分析仪所产生的X射线的散射系数.结论 在X射线镀层厚度分析仪的辐射安全评估中,除管电压、管电流、靶材料三个关键参数外,X射线准直孔孔径、一次散射介质、散射角、辐射场尺寸等参数也是很重要的.