石墨烯薄膜原子氧剥蚀行为及电阻特性

目的 研究石墨烯薄膜在原子氧空间环境的适应性,为其在航天器上应用提供参考.方法 采用刮涂法制备石墨烯薄膜,将石墨烯薄膜材料及石墨烯电阻传感器置于微波源原子氧设备内开展原子氧试验,原子氧剂量分别为3.0×1020 atoms/cm2和7.5×1020 atoms/cm2,研究薄膜表面形貌、结构、成分及电阻性能的变化.结果 采用刮涂法可制备氧含量较低的石墨烯薄膜,原子氧剂量为7.5×1020 atoms/cm2情况下,石墨烯薄膜的厚度损失为5.3μm,原子氧反应率为7.14×10-25 atoms/cm3.原子氧作用后,石墨烯薄膜中碳原子无序程度增大,C—O、—COOH官能团含量降低,C=O官能团含量增加.石墨烯电阻传感器的R0/R比值随原子氧剂量增加线性降低,0.8μm厚度薄膜可探测最大原子氧剂量为5×1019 atoms/cm2,增加薄膜厚度有望提高传感器的使用寿命.结论 得到了石墨烯薄膜厚度损失、原子氧反应率、微观结构及电阻特性的变化规律,可为石墨烯薄膜的空间应用提供技术支撑.