激光制备高附着性能的铜基类金刚石膜

Yimin LU,Guojun HUANG,Chaowei MI,Lin XI,Sai WANG,Haiyuan CAO,Yong CHENG

Journal of National University of Defense Technology（2020）

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摘要

提升类金刚石(Diamond-Like Carbon,DLC)膜在被保护基底上的附着能力具有明显的实际应用价值.从微观机理上分析了前期设计的Cu基多层DLC膜有效性的原因.在此基础上,研究了DLC/SiC循环层中两者厚度比例对膜层的附着性能、纳米硬度和耐磨性的影响,以优化结构、进一步提升实际应用所需的膜层性能.纳米划痕和压痕测试结果表明:随着DLC层与SiC层厚度比例的增大,多层DLC膜在Cu基上附着性能逐渐降低,但当厚度比小于2.3时,仍接近厚度400 nm的单层DLC膜在Si基上的附着性能;Cu基多层DLC膜的纳米硬度逐渐提高,同时,耐磨性接近纯DLC膜.

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