高陡度非球面磨削亚表面损伤深度规律

具有高陡度非球面特性的光学元件可以明显改善光学系统的空气动力学性能，从而提升和优化系统综合性能。磨削加工方法可以作为此类元件的前期加工工序，而磨削难免会造成零件的亚表面损伤，且在这种高陡度非球面磨削加工中磨削参数是实时变化的，造成整个工件亚表面损伤深度不一致。针对这种情况，建立亚表面损伤预测模型，并结合半球形砂轮磨削的特点，通过理论计算预测非球面磨削亚表面损伤深度分布规律。在此基础上，以热压多晶氟化镁平面为对象进行模拟参数实验，通过磁流变抛斑点法得到各组参数下亚表面损伤深度情况，结果显示损伤深度范围在12．79μm～20．96μm之间，且沿试件半径方向由内向外呈增大趋势，结果与预测模型相吻合。