磁控溅射法制备TiO2薄膜的亲水性研究

Journal of Shenyang Institute of Engineering(Natural Science)（2017）

引用 0|浏览3

暂无评分

摘要

利用磁控溅射法在不同条件下制备了玻璃基TiO2薄膜样品,分别研究了衬底温度、工作气压、氧氩比等对TiO2薄膜亲水性的影响,得到最佳工艺参数,并对此参数下薄膜的亲水性、均匀性、晶相等进行了表征.

AI 理解论文

溯源树

样例

生成溯源树，研究论文发展脉络

Chat Paper

正在生成论文摘要