基于CAV444的薄膜厚度测量电容传感器设计

为改进薄膜厚度测量系统传感器检测电路结构复杂、易受干扰等缺点，设计了基于 CAV444的电容传感器，详细阐述了测试原理及传感器检测端的电路设计，最终实验结果表明该传感器的薄膜厚度测量精高、抗干扰能力强，能较好的解决转换电路容易受到寄生电容和环境变化的影响，可用于薄膜厚度的在线检测，具有很好的应用前景。