金刚石薄膜连续制备的热丝化学气相沉积设备研制

Lu-sheng LIU,Zhao-feng ZHAI,Bing YANG, Hao-zhe SONG, Qi YU,Dan SHI,Zi-yao YUAN,Zhi-gang LU,Bin CHEN, Mei-qi ZHOU, Hai-ning LI, Biao YU,Nan HUANG,Xin JIANG

Vacuum（2020）

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摘要

根据目前热丝化学气相沉积(Hot Filament Chemical Vapour Deposition,HFCVD)金刚石薄膜制备设备现状:存在热丝多为水平放置碳化变脆后易发生断裂、不能实现CVD金刚石薄膜的连续制备、生产成本高及制备效率低等缺点,依据热丝化学气相沉积法制备金刚石薄膜的原理,应用Solidework三维设计软件进行三维建模,结合机械设计软件制图,研制出了该型金刚石薄膜连续制备HFCVD设备,并给出了连续镀膜的工艺流程,采用该设备成功批量生长出质量良好的金刚石薄膜.

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