溅射功率对Zn1-xMgxO薄膜性能的影响

Vacuum（2017）

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摘要

用射频磁控溅射制备Zn1-xMgxO薄膜,通过对不同溅射功率制备的薄膜结构和薄膜的室温透射谱和光致发光光谱的分析,得到溅射功率对薄膜结构和形貌的和光学性能的影响.

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