高精度像差检测运动控制及图像采集系统设计
Foreign Electronic Measurement Technology（2017）
摘要
投影物镜是光刻机的重要组成部分,直接影响光刻技术指标,因此投影物镜波像差是光刻机中关键的检测指标之一.横向剪切干涉是重要的波像差检测方法,根据横向剪切原理,设计了高精度运动控制及图像采集系统以检测光刻机投影物镜波像差是否满足要求.该系统采用宏-微结构以同时满足行程和位置精度的要求;并由CMOS图像探测器实时采集保存剪切干涉图像.剪切干涉图像通过波前重建计算得到投影物镜的波像差,实验结果满足波像差检测重复性精度要求.该系统具有高集成、可扩展、操作简便和维护简单的特点,可广泛应用于相关领域中.
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