紫外-真空紫外光谱反射率测试系统
Foreign Electronic Measurement Technology（2015）
摘要
为获取紫外-真空紫外光学元件的光谱反射率 ,构建了一套反射率测试系统.该反射率测试系统主要由Seya-Namioka紫外-真空紫外单色仪、样品精密转台为主体的光机结构和电子学系统组成.首先,介绍了系统测量原理 ,采用双光路补偿法消除了光源随时间的飘移 ,通过改变系统光路进行两次测量来获取反射光与入射光数据,进而得到光谱反射率.接着对电子学硬件系统进行描述 ,给出了驱动控制单元与信号处理采集单元的硬件设计与组成.因紫外-真空紫外光谱信号微弱 ,采用了锁相放大的方法提高了测量精度.该反射率测试系统测试结果表明波长重复性0.05nm,反射率测量重复精度为1.8% ,系统功能完备稳定性好 ,能够实现对光学元件的高精度测量.
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