电磁辅助压电致动器设计开发与性能测试研究
Acta Metrologica Sinica（2020）
摘要
传统的压电致动器,受限于压电致动的小行程,通常只能测量较小的范围.研发了一种电磁辅助压电致动器,同时具备电磁式致动器长行程与压电式致动器高分辨率的特点,该致动器包含可动件、导引槽、挠性件、电磁铁、压电元件以及控制电路.首先调整挠性可调预压装置并设定电磁铁电流,使得电磁致动力处于最大静摩擦力与动摩擦力之间;再利用压电组件所产生的微震动,控制可动件与导引槽之间的接触情况在静摩擦与动摩擦之间切换,从而完成长行程(10 mm)且高分辨率(1.5 μm)的往复运动.实验结果表明该致动器具备出色的定位能力.
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