磁控溅射钛靶材的发展概述Ting-yi DONG,Xiao-yong WAN, Cheng ZHANG,Jin-jiang HE,Bao-guo L(U)Metallic Functional Materials（2017）引用 6|浏览2暂无评分摘要详细介绍了磁控溅射Ti靶材的种类、应用及制备情况,指出了目前Ti靶材亟待解决的几个重大问题,并对靶材的发展趋势进行了探讨和展望.更多查看译文AI 理解论文溯源树样例生成溯源树，研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要
