基于SVM的滤光片表面缺陷识别方法

Junfang WU,Guixiong LIU,Mengyao FU,Xiaohui WANG

CHINA MEASUREMENT & TESTING TECHNOLOGY（2016）

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Abstract

针对目前滤光片表面缺陷识别普遍采用人工方式,成本高、无法满足实时性等问题,提出一种基于有向无环图支持向量机(DAG-SVM)的滤光片表面缺陷识别方法.该方法结合滤光片常见缺陷的特点,设计出包含3个结构简单、性能优良的二分类器的滤光片表面缺陷识别方法,克服多分类器算法复杂、难以保证分类正确率的问题.实验结果表明:该方法对滤光片的点缺陷、印子缺陷、划痕缺陷及崩缺陷的识别正确率为100％.

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