磁控溅射和能量过滤磁控溅射TiO2薄膜结构和光学性质的对比研究

磁控溅射是一种广泛应用的薄膜制备技术.能量过滤磁控溅射是对磁控溅射技术加以改进后的一种薄膜制备技术.通过改变能量过滤磁控溅射技术过滤电极网孔大小制备TiO2薄膜,研究了网孔目数对薄膜物相结构、表面形貌以及光学性质的影响,并与磁控溅射技术制备的TiO2薄膜进行了对比研究.结果表明:(1)能量过滤磁控溅射技术较磁控溅射技术所制备薄膜的结构均匀性更加优异,薄膜的透射率由86.5％增大到91.4％、波长500 nm处折射率由1.61增加到1.68、波长300 nm处消光系数由0.42降低到0.12;(2)能量过滤磁控溅射技术过滤电极网孔目数不同时薄膜的结晶性能、表面粗糙度以及光学性质均存在差异,且随网孔目数的增加呈周期性变化;(3)过滤电极网孔目数为8目时,薄膜的结晶性能较好、薄膜较为均匀、透射率较高,为91.4％.