LiNi0.5Co0.2Mn0.3O2陶瓷靶材制备性能研究

Huan LIU,Jiangtao ZHAO,Jincheng SHEN,Lei DONG, Chen WANG,Lei YAO,Haitao YANG

Journal of Functional Materials（2018）

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摘要

采用传统的常压固相烧结的方法制备了LiNi0.5 Co0.2 Mn0.3O2陶瓷靶材.研究了不同烧结温度对于LiNi0.5 Co0.2 Mn0.3O2(NCM,523)陶瓷靶断面形貌、物相及晶型结构、相对密度和抗弯强度的影响.通过对NCM陶瓷靶材进行分析表征,研究结果表明,在烧结温度为1100℃时,靶材具有最优的各项性能,其相对密度为98.8％,抗弯强度为65.7 MPa,其各项力学性能均已经到达射频磁控溅射镀膜机所需性能,适合于工业化生产.

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