光伏多晶铸锭生产过程氩气循环利用技术研究

多晶硅铸锭在生产中采用的氩气排空方式存在生产成本高、电力消耗大、环境污染严重的问题.基于此本文提出多晶铸锭生产中氩气循环利用技术,通过采用一套真空泵联机多台多晶硅铸锭炉的技术,研发了一套纯化单元及控制系统,实现了氩气的循环再利用.多次采集的气体实验结果表明,本文所提出的技术研究降低了生产成本,减少了氩气的浪费,在一定程度上降低了因氩气的排放对大气造成的污染,进一步实现了光伏环境友好型的绿色发展.