减速场分析仪透射率与栅网结构关系分析
Chinese Journal of Vacuum Science and Technology（2019）
Abstract
为对科大全对称串节磁镜(KMAX)装置中等离子体离子能量分布和离子温度进行测量,需要设计一种减速场分析仪,而分析仪测出的数据被认为是复杂的,因为透射率与栅网的结构存在密切关系.结合实际物理环境,通过COMSOL创建三栅网减速场分析仪模型,对比不同能量离子束、不同栅网结构以及不同入射角对透射率的影响.栅网间透镜效应对于低能离子束透射率具有重要影响,而高能离子束透射率趋近于光学透射率,栅网对齐分布具有更高的透射率,相同光学透射率网格中圆形网格透射率更高,光学透射率越高栅网实际透射率也越高.透镜效应对于不同能量离子束的影响不同,栅网网格形状、单栅网光学透射率、栅网分布均对总透射率有影响,针对KMAX装置设计的分析仪有效入射角度范围0°～10°,栅网结构与透射率关系的研究结果对于减速场分析仪设计具有一定的参考意义.
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